產(chǎn)品中心
高精密平坦化研磨拋光技術(shù)
ES32B/36B單面拋光機(jī)
所屬分類： 單面研磨/拋光機(jī)
設(shè)備參數(shù)
單面研磨/拋光機(jī)
名 稱
ES32B/36B單面拋光機(jī)
機(jī)械尺寸
長(zhǎng)1484㎜×寬1250㎜×高2054㎜
機(jī)械重量
2600KG
參數(shù)表
設(shè)備參數(shù)
| 32B | 36B | |||
定盤直徑 | 812.8 | 定盤直徑 | 914 | |
| 壓力板直徑 | 304.8 | 壓力板直徑 | 360 | |
| 機(jī)器尺寸 | 1484 x 1250 x 2054 | 機(jī)器尺寸 | 1484x 1250 x 2054 | |
| 機(jī)器重量 | 2300KG | 機(jī)器重量 | 2600KG | |
| 電源 | 380V/50Hz | 電源 | 380V/50Hz | |
| 馬達(dá)功率 | 7.5KW | 馬達(dá)功率 | 7.5KW | |
| 定盤回轉(zhuǎn)數(shù) | 0-87RPM/Min | 定盤回轉(zhuǎn)數(shù) | 0-87RPM/Min | |
其他參數(shù)
機(jī)器重量 | 32B 2300KG ●36B 2600KG | 驅(qū)動(dòng)電機(jī) | ●0.2KWx4 0.8KW PP頭驅(qū)動(dòng)電機(jī) ●7.5KW下定盤驅(qū)動(dòng)電機(jī) |
| 電源 | 380V/50Hz | 定盤回轉(zhuǎn)數(shù) | ●0~87RPM |
| P.P 回轉(zhuǎn)數(shù) | 0~ 70 RPM | P.P 最大壓力 | ●300KG |
| 氣源壓力 | 0.6MPa | 水源壓力 | ●0.8KG |
| 單次加工數(shù)量 | 32B ●2"片 單P.P 20片 4P.P 80片 ●4"片 單 P.P 5片 4P.P 20片 36B ●2"片 單P.P 25片 4P.P 100片 ●4"片 單P.P 7片 4P.P 28片 ●6"片 單P.P 3片 4P.P 12片 | 使用環(huán)境 | 15~ 35° C ●濕度: 85%以下,污水凝結(jié); ●空氣質(zhì)量:無(wú)腐蝕性.無(wú)可燃性、有害性氣體、無(wú)污染物、灰塵等等 |
產(chǎn)品特性
4個(gè)P.P盤獨(dú)立控制可四軸同時(shí)加工也可單個(gè)P.P獨(dú)立加工
P.P單頭壓力可達(dá)300Kg(可擴(kuò)展),壓力可在觸摸屏中監(jiān)控和調(diào)整
特制低摩擦空壓氣缸非市售-般氣缸, 氣缸軸粗壯避免偏擺
定盤帶有自動(dòng)水冷機(jī)構(gòu)，防止加工物和定盤發(fā)熱,通過(guò)恒溫冷水的流動(dòng)實(shí)現(xiàn)定盤溫度的恒定,并可通過(guò)紅外溫度傳感器在觸摸屏中監(jiān)控。
4個(gè)P.P盤變頻電機(jī)強(qiáng)制驅(qū)動(dòng), P.P轉(zhuǎn)速可調(diào)
4個(gè)P.P盤可以于兩側(cè)分別單獨(dú)操作,也可以在觸摸屏中集中操作
4個(gè)P.P盤分別有獨(dú)立穩(wěn)壓系統(tǒng)
4個(gè)P.P盤可以實(shí)現(xiàn)“快下降、緩下降、緩上升、快上升”
P.P著盤壓力可控,保證無(wú)法承受高壓力晶片的加工
